以化學汽相沉積法生長氧化鋅奈米材料在(0001/(1-102))藍寶石基板

本研究使用化學汽相沉積法 (Chemical Vapor Deposition,CVD)於藍寶石 (sapphire)基板,生長氧化鋅實驗中我們首先鍍上一層奈米尺寸的金膜當成催化劑 之後利用 VLS(Vapor-Liquid-Solid)機制。使用 95%氬氣與 5%氧氣之混合氣做為反 應氣體,以特定比例氧化鋅及碳粉均勻混合後作為反應源前驅物。實驗中同時放 入相同處理過程的(0001)與(1-102)面並對不同生長溫度的氧化鋅奈米結構做比 以掃描式電子顯微鏡(SEM) 、 X 光繞射儀(XRD)分析及探討其表面形貌、晶 體結構與生長機制,並使用光致螢光光譜分析(PL)、陰極螢光光譜分析(CL)分析其 發光能力與材料缺陷、拉曼光譜分析(Ramam)分析奈米結構之內應力情形,以穿透 式電子顯微鏡分析 (TEM)找到各 ZnO 奈米結構的成長磊晶方向與材料品質分析。