铁电薄膜是一类重要的功能薄膜材料，对其制备工艺进行研究，是集成铁电学发展的基础。本书主要报道了四种钙钛矿型铁电氧化物(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3—xPbTiO3（PMNT或PMN-PT）、Pb(ZrxTi1-x)O3（PZT）、(Na1-xKx)0.5Bi0.5TiO3（NKBT或NBT-KBT）和 BaxSr1-xTiO3（BST）薄膜的脉冲激光沉积（PLD）工艺，以及薄膜中的激光感生电压（LTV）效应（后经验证该效应为热电效应，即激光感生热电电压效应（LITV））。全书共分五章，第一章为绪论，主要对铁电薄膜材料、脉冲激光沉积技术和激光感生电压效应做了概述；第二至五章为实验部分，第二章主要介绍了不含焦绿石相的PMNT靶材和薄膜的制备工艺，以及PMNT薄膜中的激光感生电压效应；第三章主要介绍了PZT靶材和薄膜的制备工艺，以及掺杂元素对PZT铁电薄膜中激光感生电压效应的影响；第四章主要介绍了NKBT靶材和薄膜的制备工艺，以及基片材料和斜切角度对NKBT薄膜激光感生电压效应的影响；第五章主要介绍了BST靶材和薄膜的制备工艺，以及BaTiO3/Ba0.6Sr0.4TiO3、SrTiO3/Ba0.6Sr0.4TiO3和BaTiO3/SrTiO3超晶格中的激光感生电压效应。 本书绪论部分参考了许多学者的著作和论文，版权归原作者所有；本书研究成果是在张鹏翔教授和张辉副教授的大力支持下完成的。作者在此谨向他们致以诚挚的感谢。