阐述了利用激光莫尔信号实现高精度位置检测与精密定位的理论、方法及其关键技术，介绍了基于激光莫尔信号的精密位移测量数学模型及计算机仿真，研究了纳米级分辨率的精密位移测量理论方法。应用物理光学和傅立叶光学理论，分析了双级光栅衍射时的相对位移与激光莫尔信号强度的关系，建立了基于激光莫尔信号的精密位移测量数学模型。并对超精密直线定位、超精密角度定位及超精密平面定位的理论及实验进行了系统介绍；探讨了解决精密定位中的定位速度、定位精度及定位行程等关键技术和方法。针对精密定位装置存在非线性，精确数学模型难于建立的缺陷，提出了精密定位的模糊神经网络控制方法。将模糊神经网络应用于该控制系统中。最后介绍了利用精密定位方法实现荫罩式等离子显示器精密定位台的研制开发。