本文采用电化学沉积与原子层外延相结合形成一种低成本、过程易控、室温沉积、环境负荷小的新方法——电化学原子层外延法（ECALE）生长纳米超晶格薄膜热电材料。介绍了热电效应及其应用、材料的热电效率及提高材料热电效率的途径，并对热电材料的研究进展、纳米薄膜热电材料制备方法，以及电化学原子层外延的特点及欠电位沉积的基本原理作了详细的综述。详细介绍了我们自行设计、研制的ECALE纳米薄膜自动沉积系统。并对关键部件如溶液自动转换系统、薄层电化学池系统、电化学测试系统进行了较为详细的阐述。本文首次采用ECALE法制备Bi2Te3、Sb2Te3以及Bi2Te3/Sb2Te3超晶格等VA-VIA族化合物纳米薄膜热电材料，对发展薄膜热电材料及其器件的新型制备方法，进一步提高其热电性能，拓宽其应用范围都有重要的学术研究价值和广阔的应用前景。